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이용료
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반도체 공정연구센터 요율 및 사용절차
기본요금(원) | ||||||
---|---|---|---|---|---|---|
분류 | 장비명 | 학내 | 대학연구소 | 기업체 | 추가 요금 및 안내 사항 | |
청정실 | 청정실 입실료 | 100,000 | 160,000 | 320,000 | 6개월 입소기준, 일괄징수 년2회(3.1/9.1) | |
분류 | 장비명 | 직접 사용 | 공정 의뢰 | 추가 요금 및 안내 사항 | ||
측 정 / 분 석 |
EDS | 16,000/run | 24,000/run | SEM 사용료에 추가 | ||
4-Point Probe System | 청정실 입실자 무료 | 24,000/시간 | ||||
a-step (Step Height Measurement) | 청정실 입실자 무료 | 24,000/시간 | ||||
Ellipsometer | 청정실 입실자 무료 | 24,000/시간 | ||||
Hall Effect Measurement System | 24,000/시간 | 36,000/시간 | 1시간 초과 시 시간당 50% 추가 | |||
Nanospec (Thin Film Thickness Measurement System) | 청정실 입실자 무료 | 24,000/시간 | ||||
Network Analyzer | 5,000/시간 | 10,000/시간 | Parameter Analyzer에 추가 | |||
Digital Oscilloscope | 24,000/시간 | 해당없음 | 1시간 초과 시 시간당 50% 추가 | |||
Parameter Analyzer | 일반형 | 24,000/시간 | 36,000/시간 | 1시간 초과 시 시간당 50% 추가 (Probe staion 포함) | ||
진공챔버형 | 36,000/시간 | 48,000/시간 | ||||
Optical Microscope | 청정실 입실자 무료 | 해당없음 | ||||
Optical Microscope (Yellow Room) |
청정실 입실자 무료 | 해당없음 | ||||
Probe Station | 일반형 | 24,000/시간 | 36,000/시간 | 1시간 초과 시 시간당 50% 추가 (Probe staion 개별 사용시에 부과) | ||
진공챔버형 |
36,000/시간 | 48,000/시간 | ||||
C-V meter (with DC Probe-S) |
24,000/시간 | 36,000/시간 | 1시간 초과 시 시간당 50% 추가 | |||
LD Tester set | 24,000/시간 | 36,000/시간 | 1시간 초과 시 시간당 50% 추가 | |||
Spectrum Analyzer | 5,000/시간 | 10,000/시간 | Parameter Analyzer에 추가 | |||
Scanning Probe Microscope (SPM) | 28,000/시간 | 48,000/시간 | 1시간 초과 시 시간당 50% 추가 (Tip 별도) | |||
Burn in tester (with DC Probe-S) |
24,000/시간 | 36,000/시간 | 1시간 초과 시 시간당 50% 추가 | |||
RLC Tester | 13,000/시간 | 20,000/시간 | ||||
FE-SEM | 37,000/시간 | 54,000/시간 | ||||
LED Tester | 24,000/시간 | 36,000/시간 | 1시간 초과 시 시간당 50% 추가 | |||
AFM | 28,000/시간 | 48,000/시간 | Tip 교체시 비용 40,000(별도부과) | |||
Laser Microscope | 24,000/시간 | 36,000/시간 | ||||
FIB | 160,000/시간 | 200,000/시간 | 기본 2시간 | |||
Raman | Spectrum(point) | 24,000/Point | 30,000/Point | |||
Mapping, img 측정 | 80,000/시간 | 100,000/시간 | ||||
특수실험, In-situ 실험 | 250,000/시간 | 300,000/시간 | ||||
L i t h o |
Contact Aligner(MA6) | 24,000/wf | 36,000/wf | Align 필요시 12,000원 추가 (공정 제공 시) | ||
Spin Coater | 16,000/wf | 24,000/wf | ||||
PR-Asher(Low Pressure Plasma System) | 28,000/run | 40,000/run | 웨이퍼 3장 기준 | |||
Hot Plate | 청정실 입실자 무료 | 해당없음 | ||||
SEM Lithography | 264,000/시간 | 440,000/시간 | ||||
SRD (Spin Rinse Dryer) | 10,000/run | 15,000/run | ||||
Wet station | Organic | 72,000/기본 | 96,000/기본 | Chemical 포함 | ||
Acid | 72,000/기본 | 96,000/기본 | ||||
Yellow Room | 40,000/기본 | 64,000/기본 | ||||
증 착 |
E-Beam evaporator | 80,000/run | 120,000/run | 증착시간 2시간/증착두께 1㎛ 이상 2배 | ||
Ion Sputter (SEM) | 청정실 입실자 무료 | 10,000/run | - Pt coating 1건당 (공정 제공 시) | |||
MOCVD | 240,000/run | 320,000/run | 1 ㎛ 기준 초과 시 기본료 재부과 | |||
PECVD | 56,000/run | 80,000/run | run 회수 1회 추가당 80% 추가 | |||
ALD | 64,000/run | 80,000/run | 10 ㎚ 기준 | |||
Au plating | 48,000/기본+48,000/wf | 64,000/기본+64,000/wf | 100 ㎚ 초과 시 웨이퍼당 16,000원 추가 | |||
Sputter | Au | 48,000/기본+48,000/wf | 64,000/기본+64,000/wf | 100 ㎚ 초과 시 웨이퍼당 16,000원 추가 | ||
Metal | 48,000/기본+32,000/wf | 64,000/기본+40,000/wf | 100 ㎚ 초과 시 웨이퍼당 4,000원 추가 | |||
Oxide | 48,000/기본+32,000/wf | 64,000/기본+40,000/wf | ||||
열 처 리 |
LP-Furnace | 200,000/기본+16,000/시간 | 320,000+16,000/시간 | 200 ㎚ 초과 시 기본요금의 두 배 | ||
RTA | 32,000/run | 48,000/run | ||||
식 각 |
ICP | Cl | 56,000/run | 80,000/run | ||
F | 51,000/run | 80,000/run | ||||
Deep Etcher | 120,000/run | 160,000/run | ||||
후 공 정 |
CMP(Lapping & Polishing) | 64,000/wf | 112,000/wf | |||
Wafer Scriber (only Si) | 20,000/wf | 20,000/wf + 24,000/시간 | 1시간 초과 시 시간당 50% 추가 | |||
Wire Ball Bonder (Wedge) |
24,000/시간 | 36,000/시간 | 1시간 초과 시 시간당 50% 추가 | |||
Die Bonder | 24,000/시간 | 36,000/시간 | 1시간 초과 시 시간당 50% 추가 | |||
시 뮬 레 이 션 |
Simulation(Silvaco/ Light Tools) |
240,000 (7,500) | 해당없음 | 1개 라이센스 1년 사용 시 (1일 사용 시) |
할인율과 사전협의가 필요한 사항
- 1. SPRC(반도체과학기술학과) 소속 교수 및 학생 - 70%
- 2. 학내 교수 및 학생, 입주기업 - 50%
- 3. 타 대학, 연구소(비영리에 한함) - 20%
- 4. 장비 운영/관리자의 교육 - 무료
- 5. 월간 1,000 만원 이상 사용하는 경우 - (사전협의)
- 6. 기타, 특수 사정에 따라 요청되는 경우 - (사전협의)
- ※ 중복할인은 불가하며, 웨이퍼와 같이 실비가 소요되는 비용(입실료 포함)은 할인대상에서 제외
- ※ 기타 자세한 사항은 홈페이지(sprc.jbnu.ac.kr)와 Tel. 063-270-4491로 문의해 주시기 바랍니다.